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2021-97
一、引言化學氣相沉積(ChemicalVaporDeposition，CVD)和金屬有機化學氣相沉積(MetalOrganicChemicalVaporDeposition，MOCVD)是兩種在半導體制造中廣泛應用的薄膜沉積技術。這兩種技術都需要使用高純度的氫氣作為反應氣體。因此，CVD，MOCVD專用氫氣發生器的操作對于保證薄膜質量和設備安全至關重要。二、儀器簡介CVD，MOCVD專用氫氣發生器是一種能夠產生高純度氫氣的設備，主要用于半導體制造中的CVD和MOCVD過程。該...
查看更多2021-91
氮氣是空氣中體積分數Zda的一種惰性氣體，化學分子式為N2，通常狀態下無色無味，比空氣密度小。氮氣化學性質不活潑，常溫下難與其他物質進行反應，因此通常被用作保護氣體，液氮可用作深度冷凍劑，高純氮氣可用作色譜等儀器的載氣，氮氣的性質決定了它的用途的廣泛。大流量氮氣發生器采用的是電催化方式，其中電解池是操縱燃料電池的逆過程設計而成。由于壓力是不變的，干凈的進料空氣送入電解槽，空氣中的氧氣被吸附在陰極電子獲得，生成氫氧根離子和水的影響，并遷移到陽極，然后在陽極處失電子析出氧氣。只留...
查看更多2021-83
大流量氫氣發生器是實驗室用來制備氫氣的儀器，常溫常壓下，氫氣是一種易燃燒，無色透明、無臭無味的氣體。質量只有空氣的1/14，即在0℃時，一個標準大氣壓下，密度為0.0899g/L。所以可作為飛艇、氫氣球的填充氣體(由于具有可燃性，安全性不高，飛艇現多用氦氣填充)，本氣體是相對分子質量小的物質，主要用作還原劑。今天咱們來了解下大流量氫氣發生器中氫氣的凈化方法：氫氣從電解槽電解出來之后，都需要經過凈化才能供氣相色譜儀使用，常用的凈化方式主要有以下幾種：1、變壓吸附凈化系統變壓吸附...
查看更多2021-723
空氣發生器是一種常用的發生器產品，空氣發生器主要由空壓機、制冷機、吸附器、三級精密干燥空氣過濾器、電控系統、減壓閥、露點儀等部分組成。壓縮后的空氣進入預冷器冷卻后進入離心脫水過濾器中進行水氣分離，再進入制冷機深度冷凝脫水，大部分水氣被凝結成水，空氣進行第二次聚結脫水過濾器，然后進入可再生干燥空氣過濾器，將剩余水氣吸附，吸附脫水后的干燥空氣進入0.01μm高精度過濾器中去除微粒后經穩壓閥輸送到需要干燥氣體的設備中，以保證變壓器不會因雜質降低絕緣強度。在空氣發生器的使用過程中，如...
查看更多2021-628
當對各崗位的設備運行和環境衛生進行巡檢，發現了一臺正在運行的氣相色譜（那天沒有分析任務）和空氣、氮氣發生器壓力不正常，空氣和氮氣的壓力只能維持在0.3MPa，壓力下降，因為氮氣的氣源也來自空氣發生器，現在零級空氣發生器的壓力降到0.3MPa，所以氮氣的壓力也一定跟著降到0.3MPa。根據判斷，決定對本設備進行處理。經檢查，零級空氣發生器的電源部分和壓縮機主機沒有問題，可能是壓力控制系統出問題，也可能是啟動壓縮機前面的行程開關出現問題，使該設備一直處于停運狀態（查看壓縮機前面的...
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